| 000 | 00717nac a22002177ca4500 | ||
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| 003 | OSt | ||
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| 007 | t| | ||
| 008 | 190702s1981 xxu||||| |||| 00| 0 d | ||
| 100 | 1 | _aSchade, Klaus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aHalbleitertechnologie : _bBd 1: Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung ; Bd 2: Dotierung, Maskierung, Montage |
| 250 | _a1. Aufl. | ||
| 264 | 1 |
_aBerlin: _bVerl. Technik, _c1981-1983 |
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| 300 |
_a238, 404 S. : _bIll. |
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| 490 | _aElektronische Festkörperbauelemente | ||
| 650 |
_aHalbleiterbauelement _91802 |
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| 650 |
_aHalbleiter _91801 |
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| 650 |
_aHalbleiterrechnik _9Halbleiterrechnik |
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| 650 |
_aFestkörperphysik _9Festkörperphysik |
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| 999 |
_c11110 _d11110 |
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