TY  - GEN
AU  - Schade,Klaus
TI  - Halbleitertechnologie: Bd 1: Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung ; Bd 2: Dotierung, Maskierung, Montage
T2  - Elektronische Festkörperbauelemente
PY  - 1981///-1983
CY  - Berlin: 
PB  - Verl. Technik, 
KW  - Halbleiterbauelement
KW  - Halbleiter
KW  - Halbleiterrechnik
KW  - Festkörperphysik
ER  -