Schade, Klaus
Halbleitertechnologie : Bd 1: Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung ; Bd 2: Dotierung, Maskierung, Montage
- 1. Aufl.
- 238, 404 S. : Ill.
- Elektronische Festkörperbauelemente .
Halbleiterbauelement
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Halbleiterrechnik
Festkörperphysik