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Halbleitertechnologie :

Schade, Klaus

Halbleitertechnologie : Bd 1: Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung ; Bd 2: Dotierung, Maskierung, Montage - 1. Aufl. - 238, 404 S. : Ill. - Elektronische Festkörperbauelemente .

Subjects--Topical Terms:
Halbleiterbauelement
Halbleiter
Halbleiterrechnik
Festkörperphysik

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